高速微位移测量仪--自由量取值变化规律
发布时间:2017-06-15 点击次数:次
光学模块仿真
2.4.1 自由量取值变化规律
经过对FES关系式中变量(
)分组取值,并通过Matlab进行数据图像绘制,得到各变量变化规律。(注:r. 为红色;g. 为绿色;b. 为蓝色;y. 为黄色;m. 为粉色)
(1)a1改变

结论:当a1增大时,FES幅值变化范围变大,甚至出现正负值之间的跳跃。
当a1=10时,图像线性度最好,但是变化幅值范围太小,无法被检测。
(2)l改变

结论:当l增大时,FES幅值变化减小,且线性度变低。
当l=50时,幅值变化最大,线性度最好。
(3)f 1改变

结论:当f 1增大,FES幅值变化范围减小,且线性度变好。
(4)f 2改变

结论:当f 2增大时,FES幅值变化范围增大。
根据实际设计情况,得出结论如下:
由于两个柱面镜贴合,因此l值为0。在此条件下,希望得到曲线线性度高,则a1需适度增大来加大离焦电信号变化范围;f 1 可增大来加强虚线线性度;f 2可增大来加大离焦电信号变化范围。
2.4.1 自由量取值变化规律
经过对FES关系式中变量(

(1)a1改变
f 1 | f 2 | a1 | l | m | 图像表示 |
25 | 5 | 10 | 100 | 10.9375 | r. |
25 | 5 | 15 | 100 | 10.7843 | g. |
25 | 5 | 20 | 100 | 10.5263 | b. |
25 | 5 | 25 | 100 | 10 | y. |
25 | 5 | 30 | 100 | 8.3333 | m. |

结论:当a1增大时,FES幅值变化范围变大,甚至出现正负值之间的跳跃。
当a1=10时,图像线性度最好,但是变化幅值范围太小,无法被检测。
(2)l改变
f 1 | f 2 | a1 | l | m | 图像表示 |
25 | 5 | 10 | 50 | 11.7647 | r. |
25 | 5 | 10 | 75 | 11.2245 | g. |
25 | 5 | 10 | 100 | 10.9375 | b. |
25 | 5 | 10 | 125 | 10.7595 | y. |
25 | 5 | 10 | 150 | 10.6383 | m. |

结论:当l增大时,FES幅值变化减小,且线性度变低。
当l=50时,幅值变化最大,线性度最好。
(3)f 1改变
f 1 | f 2 | a1 | l | m | 图像表示 |
10 | 25 | 10 | 50 | 50 | r. |
25 | 25 | 10 | 50 | 200 | g. |
35 | 25 | 10 | 50 | 228.5714 | b. |
45 | 25 | 10 | 50 | 244.4444 | y. |
50 | 25 | 10 | 50 | 250 | m. |

结论:当f 1增大,FES幅值变化范围减小,且线性度变好。
(4)f 2改变
f 1 | f 2 | a1 | l | m | 图像表示 |
25 | 5 | 10 | 50 | 11.7647 | r. |
25 | 7 | 10 | 50 | 17.7215 | g. |
25 | 8 | 10 | 50 | 21.0526 | b. |
25 | 10 | 10 | 50 | 28.5714 | y. |
25 | 25 | 10 | 50 | 200 | m. |

结论:当f 2增大时,FES幅值变化范围增大。
根据实际设计情况,得出结论如下:
由于两个柱面镜贴合,因此l值为0。在此条件下,希望得到曲线线性度高,则a1需适度增大来加大离焦电信号变化范围;f 1 可增大来加强虚线线性度;f 2可增大来加大离焦电信号变化范围。